वैक्यूम सक्शन वायवीय मैनिपुलेटर

वैक्यूम मैनिपुलेटर्स का उपयोग विशेष वैक्यूम कक्षों में वेफर या वस्तुओं को स्थानांतरित करने या स्थिति में लाने और सामग्री प्रबंधन अनुप्रयोगों के लिए किया जाता है।वे अधिक लचीलापन प्रदान करते हैं क्योंकि कठोर लिंक का उपयोग नहीं किया जाता है।कुछ वैक्यूम मैनिपुलेटर्स में माउंटिंग डिवाइस या एंड-इफ़ेक्टर शामिल होते हैं।अन्य में लोड लॉक और डगमगाने वाली छड़ें शामिल हैं।अक्सर, वैक्यूम मैनिपुलेटर्स का उपयोग वैक्यूम चैंबरों के साथ संयोजन में किया जाता है।वेफर हैंडलर या रोबोट पीवीडी, सीवीडी, प्लाज्मा नक़्क़ाशी या अन्य वैक्यूम प्रसंस्करण कक्षों में वेफर्स या सब्सट्रेट्स को अंदर या बाहर ले जाने के लिए एक स्वचालित प्रकार के वैक्यूम मैनिपुलेटर हैं।एक वैक्यूम चैंबर बनाने के लिए, एक वैक्यूम मोटर या इन-वैक्यूम मोटर भौतिक रूप से पोत से हवा को पंप करती है जब तक कि वांछित उप-वायुमंडलीय दबाव प्राप्त नहीं हो जाता।यदि वैक्यूम चैम्बर में अल्ट्रा-हाई वैक्यूम होता है, तो अल्ट्रा-हाई वैक्यूम मैनिपुलेटर और अल्ट्रा-हाई वैक्यूम मोटर का उपयोग किया जाना चाहिए।